为了满足科研需要，我室在逐步完善激光器和探测的的工艺线。
目前我室拥有的设备列表如下：
生长设备：
MOCVD，MBE
工艺设备：
MA6光刻设备、牛津Ⅲ-Ⅴ族化合物材料刻蚀设备、Samco 10NR SiO2 SiNx反应离子刻蚀设备、CZ-350型真空蒸发镀膜机、CJ-500型磁控溅射镀膜机蒸铟设备、蒸金设备、LSD-100划片机、固晶机、国产回流炉，进口回流炉、FINEPLACER lambda烧结机、PM5磨抛机、RTP500快速退火炉、Kulicke & Soffa 焊线机、Ion打胶机、粘附剂涂覆机
测量设备：
Quanta FEG 450扫描电子显微镜、飞利浦X射线仪、飞利浦PL谱、DektakXT 150台阶仪、探测器单管测试系统、傅里叶红外光谱仪